2024法定节***日用光,2024年节***日

摘要： 大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于2024法定节假日用光的问题，于是小编就整理了1个相关介绍2024法定节假日用光的解答，让我们一起看看吧。关于光刻机，中国需要做...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于2024法定节***日用光的问题，于是小编就整理了1个相关介绍2024法定节***日用光的解答，让我们看看吧。

1. 关于光刻机，中国需要做哪些方面的突破？

关于光刻机，中国需要做哪些方面的突破？

目前很多人都知道光刻机在芯片制造过种非常重要，甚至如果从工艺来看，光刻过程占所有制造过程的40%左右的工时，所以特别特别重要。

但目前ASML的光刻机能生产5nm的芯片，我们仅能生产90nm工艺的光刻机，那么这中间的难度究竟在哪里？

一、光刻机的核心技术是什么？

为了好好的回答这个问题，我们可能需要从光刻机的原理和工作过程说起。

简单的来讲，光刻机的原理其实就是放大的单反，光刻机就是将光罩上的设计好的集成电路图形通过光线投到涂了光刻胶的硅晶圆上，这样硅晶圆上就会有电路图了，其中最核心的就是光源、镜头。

但上前面也说了，光刻机的作用是用光在硅晶圆上刻画出电路线，而由于芯片是非常精密的东西，芯片工艺甚至用nm来度量，再加上芯片要刻的不只是一层电路，有些甚至几十层电路。

所以如何保证刻得准，另外多次刻时没有偏差，这里有两个指标，就是分辨率和套刻精分辨率是指光刻机应用于的工艺节点水平。而套刻精度就是多次刻录时彼此图形的对准精度，如果对准的偏差过大，就会直接影响产品的良率。

二、差距在哪里？

光刻机是当前世界上最为复杂的设备之一，被称为现代光学工业之花，全球范围内仅有ASML、日系（尼康/佳能）、上海微电子等少数厂商能制造，而我国在这个领域始终处于低端位置，想要完成突破追赶上领头羊还需要很长一段时间，那么如题主所说我们需要在哪些方面发力才能取得突破呢？

1、系统制造商自身实力需要突破

所谓系统制造商也就是光刻机整机的制造厂商，也就是大家熟知的ASML、尼康、佳能等厂商，对应于我国而言就是上海微电子。

一台光刻机涉及几万的设备，需要系统制造商将这些配件完美组合起来，然后充分发挥他们的性能从而实现高端工艺制造。目前上海微电子仅能量产90nm工艺的光刻机，65nm工艺已经攻关结束在进入验证阶段，未来如果进展顺利的话可有可能攻克45nm，乃至28nm工艺。

不要以为系统制造商的活很好干，将所有配件组合成为一台合格的光刻机并不容易，只要任何一个配件出差错就可能无***常运转，同时还得和各供应商有着良好的互动。

2、核心组件上需要更快的突破

上海微电子从2002年成立至今已有18年的时间，但是在光刻机的研发上仍旧和高端光刻机有很大的差距，可以说整体发展较慢。但是这里面的核心问题是在于光刻机的核心配件达不到要求，或者说跟不上发展。

光刻机使用很多元器件属于被封禁的产品，因此只能使用国产配件，但是国产配件并不能完全符合要求。就拿现在来说，核心的光源我们只能实现45nm的小批量生产，工作台精度也仅仅达到28nm。想要生产类似ASML这样的高端光刻机，这些相关配件我们还得有提升。

我是喜马丑牛，我来试着回答。

光刻机是集成电路制造的关键核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子以及机械工业基础，世界上只有少数几个国家可以掌握。

这个领域的顶尖玩家数量很少，包括荷兰ASML，日本NIKON和CANON等，几乎上把控了整个高端的光刻机市场。

光刻机制造的难点在于:

1.光学器件。极高精度和极高稳定度的光学器件是光刻机的核心部件，世界上只有少数几家如蔡司等有能力制造，这些企业有相关专利的保护。

2.电子系统以及各种高精度传感控制系统。这一领域是工业的眼睛和神经，不仅是光刻机，几乎整个工业领域都被西方品牌控制，高精尖的传感控制系统很难在短期内有大的突破。

3.精密制造。材料以及加工工艺的精度，基础工业原件如轴承等的稳定性和精度等都将决定光刻机整体的精度和稳定性。

以上领域的突破不是一天两天的事，也不是空喊口号就可以解决的，需要全社会沉静下来，踏踏实实发展基础科学和工业才有可能在将来的某一天制造出属于我们自己的高精度光刻机。同时，相关专利也会是我们发展高端光刻机的制约，这一块也需要相关学科做系统的研发和准备。

光刻机的发展是摩尔定律延续的基础，光刻机就是芯片制造的核心设备，光刻机的更新换代和芯片工艺息息相关。从40nm到28nm、14nm甚至3nm等工艺，其实主要的因素就是光刻机。中国最大的芯片代工企业是中芯国际，当前主要量产的芯片还是28nm的。比台积电相差甚多。而且AMSL的高精最新一代的光刻机属于限制出口和供不应求的产品，中国厂商有钱想买都买不到。

光刻机的技术是高精专中的顶级，一套系统也是复杂，是光学与精加工的典范。组件大都专业定制，蔡司镜头、光源、数控系统等。而且光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。每个工序的高质量和精密度才能保证设备先进性。

中国需要突破高端光刻机的技术主要在于高精基础工业的发展，能锻造更高规格的零部件，紫外线和光学研究能更加前沿。配合的控制系统和软件也能自主研发。总而言之需要突破的点还是很多的。而且光刻机的研发投入巨大，需要实际经验的积累。如果***中国最先进的企业在一起，最牛的光学、机械等学科教授，应该能发展得更快。我也期待中国光刻机能更早的走向高端自主化。

以上都是个人愚见，欢迎各位交流。

到此，以上就是小编对于2024法定节***日用光的问题就介绍到这了，希望介绍关于2024法定节***日用光的1点解答对大家有用。